一种304不锈钢化学机械抛光用抛光剂和抛光液及其制备方法

本发明的目的是针对微电子、光电子、集成电路及柔性显示器技术中超薄柔性显示衬底的表面质量和加工要求，研制了一种超薄304不锈钢片Roll-to-Roll化学机械抛光机用抛光液，该抛光液去除率高、无损伤、污染小，保证工件表面的质量及材料去除的均匀性，提高了Roll-to-Roll化学机械抛光质量和效率，促进了Roll-to-Roll化学机械抛光技术的应用。

   本发明所制得的抛光液具备良好的稳定性，可在常温下，保质18个月以上，所加入化学物质不发生失效和析出现象，本发明制得的抛光液可以对304不锈钢片的加工有效提高加工精度。