展品介绍

图形衬底产业化与应用

图形衬底产业化与应用

1.首次提出一种新型大尺寸衬底表面微纳米图案定义,保证大尺寸衬底图形化产业化。

2.发明了双重控制晶体生长技术,提出了一种蓝宝石单晶的定向方法的标准,得到了国际半导体产业协会(SEMI)的认可,从而实现蓝宝石单晶大规模生产。

3.开展了InGaN/GaN 多量子阱内量子效率研究、新型氧化锌透明导电材料研究、氮化镓自支撑衬底外延及工艺技术研究。