一种微细结构化表面光整加工方法、介质及装置

本发明针对微细结构化表面（特征尺寸小鱼500μm）光整中微细特征结构易于破坏、光整均一性难以保障、材料去除率低等关键科技难题，发明了一种磁力与速度驱动特制磁性剪切增稠光整介质的新型微细结构表面智能可控光整方法与装置。通过装置的磁场控制单元、运动控制单元以及辅助线圈控制单元进行有效控制交变磁场，并配合主轴转速调整，实现智能控制光整作用力以及特制磁性剪切增稠光整介质的运动形式和作用范围，从而达到微细特征结构表面的高效柔性光整加工。提供了特制磁性剪切增稠光整介质的组织成份以及制造工艺方法。