一种卷到卷高效连续化学机械抛光机

本实用新型提供的卷到卷高效连续化学机械抛光机可以很好地克服现有传统机械抛光技术对超薄柔性衬底材料进行抛光时出现易皱折、均匀度难以控制、超薄柔性衬底材料的尺寸受回转工作台尺寸的限制，只能是单张批量生产、装夹困难、对超薄柔性衬底材料进行尺寸分割、不能成卷进行抛光等问题，该抛光机不需要对超薄柔性显示衬底材料进行分割，可直接成卷进行连续抛光，可与后续电路制程相接轨抛光效率高；克服了单张批量生产效率低的问题，超薄柔性衬底材料的长度不受限制；适合对长方型超薄柔性衬底材料整卷的抛光，与目前的显示器形状一致，并且可实现单面也可实现双面抛光，整卷装卸简单，缩短了工件的装卸时间，提高了抛光效率；可实现超薄柔性显示衬底粗抛和精抛，一次达到表面质量的最终需求，并且设计有清洗机构，可以在抛光后进行表面清洗。整卷抛光后，可直接入库，进入下一个制程。